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爱德华Edwards iGX100N iGX600 iGX1000干式真空泵维修 干泵维修
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爱德华Edwards iGX100N iGX600 iGX1000干式真空泵维修 干泵维修
Edwards iGX半导体干式真空泵
iGX 干式真空泵系列为大修之间的零维护设定了新标准。提高效率降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。
iGX 干泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套全面的网络选项，以确保泵的持续可用性。
iGX 泵提供各种峰值速度和变体，可满足从清洁到中型工艺的应用。模块化设计允许用户配置 iGX 干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上、近距离或远程。
iGX 干式真空泵系列为大修之间的零维护设定了新标准。提高效率降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务
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iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续*的泵送能力。
iGX 干泵包括以太网连接功能，允许通过网页查看主要数据，另外还包括一套全面的网络选项，可确保泵持续运转。爱德华Edwards iGX100N iGX600 iGX1000干式真空泵维修 干泵维修
iGX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合各种应用条件，包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。爱德华Edwards iGX100N iGX600 iGX1000干式真空泵维修 干泵维修BOC EDWARDS(爱德华)：iGX （iGX1000N、iGX100L iGX100M iGX100MTI iGX600L - iGX600M iGX600N iGX100 ）GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等
