Products
产品中心
产品中心
/Products
最大真空度1400L/s ~ 3000L/s抽速CXF-200/1401无油磁悬浮分子泵
返回列表
电磁轴承也称为“主动磁悬浮熊”，由磁浮轴承、传感器和控制系统组成。这种设计具有动态响应和及时调整，轴系高速且运行可靠。
磁悬浮分子泵是借助磁力支撑轴系的泵。
系列磁悬浮分子泵是KYKY为满足现代半导体制造、芯片制造、工业电镀和科学仪器等领域的应用要求而开发的真空发生设备。
优点:
1. 运行时零摩擦，功耗低
2. 易于获得真正清洁的高真空和超高真空，无需润滑泵
3.能长期抽吸腐蚀性气体
4. 由于精密陶瓷球保护轴承，安全性高，使用寿命长
5. 具有突然断电时的发电功能
技术：
磁浮轴承控制技术：采用的电磁是5轴磁悬浮。该设计采用基于国际先进控制理论的动态主动闭路磁悬浮控制技术，具有动态响应和及时调整，保证了高速轴系悬浮稳定、运行可靠的显著优势。
电机驱动控制技术：串联磁悬浮泵采用高效高速直流电机和伺服控制系统，使电机具有最大能量并自动补偿轴系转速，从而实现动能稳定启动、可靠运行和动能自动调节功能。
碳纤维复合转子技术：串联磁悬浮分子泵的涡轮转子由高强度铝合金和轻质碳纤维复合而成。与所有铝合金转子相比，涡轮转子具有重量减轻大、强度提高大的特点，实现了高转速、高性能、高可靠性的目标。
耐腐蚀技术：串联磁悬浮分子泵腔室中的零件表面经过特殊工艺处理，使表面能够长期抵抗半导体制造过程中腐蚀性气体引起的腐蚀。此外，在泵的轴上完全填充N2等惰性气体，以保护泵中的低真空部件，从而实现长时间稳定排出腐蚀性气体的功能。
加热温度控制系统：系列磁悬浮分子泵配有电加热器和温度控制器，使冷却水、气骨加热、电加热和保护气体携带的热量在运行过程中得到监测和控制，泵内温度可长期保持在一定值，部分气态物质常温下不转化为固体物质，不沉积在泵内， 并且可以满足蚀刻等特殊工艺的要求。
应用程序:
系列磁悬浮分子泵主要应用于半导体制造、夹片制造、工业电镀、科学仪器等领域，特别适用于萃取蚀刻、CVD、PVD、离子注入等腐蚀性气体及常温下易凝固气体。
